Անտոնյան, Արթուր Գարեգինի

Technology

Աշխատությունը նվիրված է բարակ թաղանթների հաստության չափման համար նախատեսված ունակային չափիչ սարքի մշակմանը, որի աշխատանքի հիմքում ընկած է էլեկտրական ունակության փոփոխության և ուսումնասիրվող շերտի հաստության միջև կապի օգտագործումը։ Հետազոտությունը համադրում է չափագիտության, էլեկտրոնիկայի, էլեկտրատեխնիկայի և բարակ թաղանթների ֆիզիկայի խնդիրները՝ նպատակ ունենալով ստեղծել զգայուն, ճշգրիտ և գործնական կիրառության համար հարմար չափման համակարգ։ Աշխատության մեջ ուսումնասիրվում են բարակ թաղանթների հաստության որոշման առկա մեթոդները և դրանց հնարավորություններն ու սահմանափակումները՝ առանձնահատուկ ուշադրություն դարձնելով ունակային չափման սկզբունքին։ Այս մոտեցման դեպքում չափվող օբյեկտի կամ համապատասխան էլեկտրոդային կառուցվածքի էլեկտրական պարամետրերի փոփոխությունը կարող է օգտագործվել թաղանթի հաստությունը գնահատելու համար։ Հետազոտության կարևոր բաղադրիչ է չափիչ սարքի կառուցվածքային և էլեկտրական սխեմայի մշակումը, որի ընթացքում անհրաժեշտ է հաշվի առնել չափման զգայունությունը, կայունությունը, լուծաչափը, արտաքին գործոնների ազդեցությունը և ստացված ազդանշանի մշակման առանձնահատկությունները։ Առանձին ուշադրություն է դարձվում չափիչ համակարգի զգայուն տարրի նախագծմանը, էլեկտրոդների երկրաչափությանը և այնպիսի պայմանների ապահովմանը, որոնց դեպքում թաղանթի հաստության փոքր փոփոխությունները կհանգեցնեն գրանցելի էլեկտրական փոփոխությունների։ Աշխատության շրջանակում ուսումնասիրվում են նաև չափման արդյունքների վրա ազդող գործոնները, այդ թվում՝ նյութի դիէլեկտրական հատկությունները, միջավայրի պայմանները, ջերմաստիճանը, մակերևույթի առանձնահատկությունները և սարքի էլեկտրոնային բաղադրիչների կայունությունը։ Կարևոր տեղ է հատկացվում սարքի տրամաչափմանը և փորձարարական ստուգմանը, քանի որ միայն տեսական կախվածության մշակումը բավարար չէ գործնական չափիչ համակարգի արդյունավետությունը գնահատելու համար։ Փորձերի միջոցով հնարավոր է որոշել սարքի չափման տիրույթը, զգայունությունը, կրկնելիությունը և սխալի հիմնական աղբյուրները։ Աշխատության մեջ կարող են դիտարկվել նաև ազդանշանի ուժեղացման, փոխակերպման և թվային մշակման եղանակները, որոնք հնարավորություն են տալիս բարձրացնել չափման արդյունքների հուսալիությունը և սարքի կիրառական արժեքը։ Բարակ թաղանթների հաստության ճշգրիտ չափումը կարևոր նշանակություն ունի նյութագիտության, միկրոէլեկտրոնիկայի, կիսահաղորդչային տեխնոլոգիաների, օպտիկական ծածկույթների և այլ տեխնոլոգիական ոլորտների համար, որտեղ նույնիսկ փոքր հաստության շեղումները կարող են ազդել պատրաստի նյութի կամ սարքի հատկությունների վրա։ Ընդհանուր առմամբ, աշխատանքը ներկայացնում է բարակ թաղանթների հաստության չափման համար ունակային սկզբունքով սարքի նախագծման, տեխնիկական իրականացման և փորձարարական գնահատման ամբողջական գործընթացը։ Այն կարող է օգտակար լինել էլեկտրոնիկայի, չափագիտության, ավտոմատացման, սարքաշինության և նյութագիտության ոլորտների մասնագետների, ինժեներների, հետազոտողների և համապատասխան մասնագիտությունների ուսանողների համար։